乐鱼体育app官网-中国自主研发12英寸碳化硅衬底全自动激光切割技术
记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。碳化硅衬底激光剥离系统。图片来源:西湖大学西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行电话
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